扫描电镜(SEM)是用电子枪射出电子束聚焦后在样品表面上做光栅状扫描的一种方法。它通过探测电子作用于样品所产生的信号来观察并分析样品表面的组成、形态和结构。入射电子作用于样品会激发多种信息，如二次电子，背散射电子，吸收电子，俄歇电子，阴极荧光，特征X射线等等。SEM主要是通过二次电子，背散射电子和特征X射线信号来分析试样表面特性 。

Quattro SEM 的三种真空模式（高真空、低真空和 ESEM™）适应任何可用SEM的最广泛的样品，包括释气样品或与真空不相容的样品，因此操作非常灵活。此外，ESEM™ 还支持在现实条件下（例如:潮湿、高温或反应性环境）对样品进行原位研究。

1.高真空分辨率：1.0 nm @ 30 kV (SED)；3.0 nm @ 1 kV (SED)
2. 低真空分辨率：30 kV @ 1.3nm；3 kV @ 3.0 nm
3. 环境真空分辨率：30 kV @ 1.3nm（SE）
4. 放大倍率范围：6 ～2,500,000倍
5. 电子枪类型：场发射灯丝，电子束束流范围 1pA~200nA
6. 发射电压：200V 至30kV